ມູນຄ່າເປົ້າຫມາຍຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໃນຫ້ອງສະອາດ semiconductor (FAB) ແມ່ນປະມານ 30 ຫາ 50%, ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມຜິດພາດຂອງຂອບແຄບຂອງ ± 1%, ເຊັ່ນໃນເຂດ lithography - ຫຼືແມ້ກະທັ້ງຫນ້ອຍລົງໃນການປຸງແຕ່ງ ultraviolet ໄກ (DUV) ເຂດ – ໃນຂະນະທີ່ຢູ່ບ່ອນອື່ນມັນສາມາດໄດ້ຮັບການຜ່ອນຄາຍກັບ ±5%.
ເນື່ອງຈາກວ່າຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງມີປັດໃຈຈໍານວນຫນຶ່ງທີ່ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການປະຕິບັດໂດຍລວມຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ລວມທັງ:
1. ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງແບັກທີເລຍ;
2. ລະດັບຄວາມສະດວກສະບາຍຂອງອຸນຫະພູມຫ້ອງສໍາລັບພະນັກງານ;
3. ຄ່າໄຟຟ້າປະກົດຂຶ້ນ;
4. corrosion ໂລຫະ;
5. ການຂົ້ນຂອງ vapor ນ້ໍາ;
6. ການເຊື່ອມໂຊມຂອງ lithography;
7. ການດູດຊຶມນ້ໍາ.
ເຊື້ອແບັກທີເຣັຍແລະສິ່ງປົນເປື້ອນທາງຊີວະພາບອື່ນໆ (ແມ່ພິມ, ໄວຣັສ, ເຊື້ອເຫັດ, ແມງ) ສາມາດຈະເລີນເຕີບໂຕໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຫຼາຍກວ່າ 60%. ບາງຊຸມຊົນທີ່ມີເຊື້ອແບັກທີເຣັຍສາມາດເຕີບໂຕໃນຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງຫຼາຍກ່ວາ 30%. ບໍລິສັດເຊື່ອວ່າຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຄວນໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢູ່ໃນລະດັບ 40% ຫາ 60%, ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງເຊື້ອແບັກທີເຣັຍແລະການຕິດເຊື້ອທາງເດີນຫາຍໃຈ.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຢູ່ໃນລະດັບ 40% ຫາ 60% ຍັງເປັນລະດັບປານກາງສໍາລັບຄວາມສະດວກສະບາຍຂອງມະນຸດ. ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຫຼາຍເກີນໄປສາມາດເຮັດໃຫ້ຄົນຮູ້ສຶກບໍ່ສະບາຍ, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາກວ່າ 30% ສາມາດເຮັດໃຫ້ຄົນຮູ້ສຶກແຫ້ງ, ຜິວຫນັງເປັນບວມ, ຫາຍໃຈບໍ່ສະດວກແລະຄວາມຮູ້ສຶກບໍ່ສະບາຍ.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສະສົມຂອງຄ່າໄຟຟ້າສະຖິດຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຫ້ອງສະອາດ - ເປັນຜົນທີ່ຕ້ອງການ. ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການສະສົມຂອງຄ່າບໍລິການແລະເປັນແຫຼ່ງທີ່ອາດທໍາລາຍການໄຫຼຂອງ electrostatic. ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງເກີນ 50%, ຄ່າ electrostatic ເລີ່ມ dissipate ຢ່າງໄວວາ, ແຕ່ໃນເວລາທີ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງແມ່ນຫນ້ອຍກ່ວາ 30%, ເຂົາເຈົ້າສາມາດຄົງຢູ່ເປັນເວລາດົນນານໃນ insulator ຫຼືຫນ້າດິນ ungrounded.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງລະຫວ່າງ 35% ແລະ 40% ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເປັນການປະນີປະນອມທີ່ຫນ້າພໍໃຈ, ແລະຫ້ອງສະອາດ semiconductor ໂດຍທົ່ວໄປໃຊ້ການຄວບຄຸມເພີ່ມເຕີມເພື່ອຈໍາກັດການສະສົມຂອງຄ່າໄຟຟ້າສະຖິດ.
ຄວາມໄວຂອງປະຕິກິລິຍາເຄມີຈໍານວນຫຼາຍ, ລວມທັງຂະບວນການ corrosion, ຈະເພີ່ມຂຶ້ນກັບການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງ. ພື້ນຜິວທັງຫມົດທີ່ສໍາຜັດກັບອາກາດອ້ອມຂ້າງຫ້ອງສະອາດແມ່ນໄວ.
ເວລາປະກາດ: 15-03-2024
ບ້ານ
ຜະລິດຕະພັນ
ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາ
ຂ່າວ